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2023年8月3日晚間，微導(dǎo)納米(688147.SH)披露調(diào)研紀(jì)要顯示，公司半導(dǎo)體ALD設(shè)備的應(yīng)用場(chǎng)景均代表國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體各細(xì)分領(lǐng)域的工藝多元化發(fā)展方向，在邏輯芯片、存儲(chǔ)芯片、新型顯示芯片、化合物半導(dǎo)體領(lǐng)域均有設(shè)備訂單，并逐步推動(dòng)在客戶端驗(yàn)證或驗(yàn)收。
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